特許
J-GLOBAL ID：200903072022460079

探針の走査方法

発明者：
渡辺 和俊

渡辺 和俊 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-006119
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194284
出願日： 2000年01月11日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 探針の試料間の凹凸に対する相対速度を増すことのない走査法で、探針と試料間に作用する物理量の測定が、一般的な走査法であるラスター走査法の2倍の量が測定可能な走査法を実現し、実質的な走査速度を向上させることにある。【解決手段】 探針と試料間の相対的走査を、X方向を+1走査単位だけ移動し、Y方向を+1走査単位だけ移動し、探針と試料間に作用する物理量を測定し、次にX方向を+1走査単位だけ移動し、Y方向を-1走査単位だけ移動し、前記探針と試料間に作用する物理量を測定するということを繰り返しながら、ジグザグな走査法により探針と試料間に作用する面内の物理量を測定する構成とする。
請求項（抜粋）：
探針と試料間に作用する物理量を検出して試料表面の形状及び物理量を測定するAFM(走査型原子間力顕微鏡)、STM(走査型トンネル顕微鏡)、などの走査型プローブ顕微鏡において、探針と試料間を相対的に面内走査する際に探針と試料の相対的X方向とY方向をジグザグに移動させながら探針と試料間に作用する物理量を測定し、測定された前記物理量データとその物理量データが測定された探針と試料間の相対的面内位置情報を使用して、XY面内における前記物理量データの画像データを生成することを特長とする探針の走査方法。
引用特許：
審査官引用 (8件)
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