特許
J-GLOBAL ID：200903072023848119
表面処理終点検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-155596
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322515
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 表面処理時に発生する光学的ノイズ成分を受光しないようにし、液晶表示器用基板等の表面処理の終点を精度よく検出できる表面処理終点検出装置を提供する。【構成】 投光機構31は、フィルタ42a及び、フィルタ選択機構42bで液晶表示器用基板Gの反射光を感度よく受光できる波長の光を取り出し、コリメータレンズ45で平行光束にし、その平行光束を基板Gのサンプル面に垂直に照射する。照射光は基板Gの各面で反射して反射光となる。その反射光は、結像レンズ48により集光され、受光素子49の受光面Qで受光される。この結像レンズ48の半径Dと受光面Qの半径Hは、基板Gのサンプル面がθ傾いたときの反射光も受光できる大きさを有する。また、計測中、処理液カーテン形成機構33は照射領域の周囲にエッチング液のカーテンを形成し、エッチング液の脈流、気泡の流入を防止する。
請求項（抜粋）：
基板上に透光性の表面層が形成された被処理物に所定の処理液を供給して表面処理を施すことによって前記表面層を除去する際に、前記除去処理が終了した時点を検出する装置であって、前記被処理物のサンプル面に平行光束を照射する投光手段と、前記投光手段によって照射された平行光束が前記被処理物で反射され、その反射光を集光させる結像レンズと、前記結像レンズによって集光された前記被処理物からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段によって受光した反射光の光量に基づいて前記除去処理が終了した時点を検出する終点検出手段と、を備え、かつ、少なくとも前記被処理物と前記受光手段との間の反射光の光路上に前記結像レンズを配設し、さらに、表面処理時に発生する前記被処理物のサンプル面の最大傾き角度をθ、前記被処理物のサンプル面から前記結像レンズまでの距離をL、前記投光手段によって照射された光の光束半径をRとした場合に、前記結像レンズの半径Dが、D≧L×tan(2θ)+Rの条件を満たし、かつ、前記結像レンズの焦点距離をf、前記受光手段の受光面で受光する反射光の光束半径をdとした場合に、前記受光手段の受光面の半径Hが、H=f×tan(2θ)+dの条件を満たすことを特徴とする表面処理終点検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G02F 1/13 101
, G03F 7/30 501
, H01L 21/66
