静電アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270906
公開番号（公開出願番号）：特開平6-098566
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】大きい駆動力と大きいストロークをもつ静電アクチュエータを得る。【構成】フレーム(11)上に一定の間隔をもうけて対向させた平面状の電極(12、13)が取付けられた固定子(1)と、固定子のフレームに取付けられ、電極面に対して略垂直方向に変位する第一の弾性体(2)と、この弾性体に固定され固定子の電極面にそれぞれ対向し、一定のギャップをもって取り付けられた電極(31、32)を有する第一の可動子(3)と、第一の可動子の電極面と平行方向に変位する第二の弾性体(42)で支持され、第二の弾性体とは反対の端面に第一の可動子の電極面と直角方向に取付けられた電極(41)を有する第二の可動子(4)と、第二の可動子の電極と一定間隔をもって対向させた電極(51)を有する移動体(5)とを備えた構成とし、移動体は第一の可動子(3)の駆動パターンと第二の可動子(4)の駆動パターンとを同期して駆動する。

請求項（抜粋）：

フレーム上に一定の間隔をもうけて対向させた平面状の電極が取付けられた固定子と、前記固定子のフレームに取付けられ、電極面に対して略垂直方向に変位する第一の弾性体と、この弾性体に固定され前記固定子の電極面にそれぞれ対向し、一定のギャップをもって取り付けられた電極を有する第一の可動子と、前記第一の可動子の電極面と平行方向に変位する第二の弾性体で支持され、前記第二の弾性体とは反対の端面に第一の可動子の電極面と直角方向に取付けられた電極を有する第二の可動子と、前記第二の可動子の電極と一定間隔をもって対向させた電極を有する移動体とからなることを特徴とする静電アクチュエータ。

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