特許

J-GLOBAL ID：200903072036765840

電子ビーム照射装置

発明者： 山口 真典
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363242
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174596
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 電子ビーム管の窓部が不純ガスによって汚染されることがなく、電子ビームの出力を一定に保ち、かつ窓部の破損を防止するととともに、被処理物に対して電子ビームを所望の速度で容易に移動させることのできる電子ビーム照射装置を提供すること。【解決手段】 被処理物5に電子ビームを照射して処理する電子ビーム照射装置において、被処理物5の電子ビーム照射処理時、被処理物5に対して電子ビーム管2を備える電子ビーム照射装置本体1を移動させる手段を有していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理物に電子ビームを照射して処理する電子ビーム照射装置において、前記被処理物の電子ビーム照射処理時、前記被処理物に対して電子ビーム管を備える電子ビーム照射装置本体を移動させる手段を有していることを特徴とする電子ビーム照射装置。