特許
J-GLOBAL ID：200903072037477040
圧力の揺らぎに鈍感な質量流量制御のための装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
小野 新次郎
, 社本 一夫
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 大塚 就彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-160666
公開番号（公開出願番号）：特開2009-277240
出願日： 2009年07月07日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：
【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
システムの入口の気体と出口の気体との間にあるフロー経路を規定するシステムであって、
前記フロー経路及び制御弁に沿って質量流量を感知する質量流量センサを含み、制御信号に応答し、前記出口を介して前記質量流量を制御する質量流量コントローラと、
前記流量経路に沿って気体の圧力の揺らぎを測定する圧力センサと、
前記感知された質量流量、及び前記測定された気体の圧力の揺らぎの関数として制御信号を生成し、前記入口における気体の圧力の揺らぎに関わりなく前記出口における気体の一定流量を提供するコントローラと、
を含む、システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
5H307AA20
, 5H307BB01
, 5H307DD01
, 5H307DD07
, 5H307DD15
, 5H307EE02
, 5H307FF06
, 5H307FF12
, 5H307FF15
, 5H307GG01
, 5H307GG15
, 5H307HH04
, 5H307HH12
