特許
J-GLOBAL ID：200903072039316087
基板外観検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266307
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109849
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：
【要約】【目的】簡単且つコンパクトな構成であり、検査に移るまでの時間が短縮できると共に、安全且つ確実に基板の検査が可能な基板外観検査装置を提供する。【構成】本発明は、基板36を回動させて、基板36の外観を検査する検査装置40を有する基板外観検査装置である。検査装置40は、キャリア42に収納された基板36を保持可能な吸着保持アーム58と、この吸着保持アーム58を回動可能に支持する回動機構60と、この回動機構60をキャリア42に接近あるいは離間する方向に移動可能に支持して、吸着保持アーム58をキャリア42に対して挿入あるいは離脱させる案内機構62と、を備えている。
請求項（抜粋）：
基板を回動させて、前記基板の外観を検査する検査装置を有する基板外観検査装置であって、前記検査装置は、収納部に収納された基板を保持可能な保持手段と、この保持手段を回動可能に支持する回動機構と、この回動機構を前記収納部に接近あるいは離間する方向に移動可能に支持して、前記保持手段を前記収納部に対して挿入あるいは離脱させる案内機構と、を備えていることを特徴とする基板外観検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, H01L 21/68
