電子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：社本一夫 , 田中英夫 , 大塚住江 , 西山文俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-077136
公開番号（公開出願番号）：特開2006-260957
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】フレーム数/secの小さいエリアセンサを用いても高速の画像取得を可能にする。【解決手段】評価領域を複数の副視野に分割し、1次電子線を副視野に順次照射し、副視野毎に試料面の情報を含んだ2次電子を検出手段により検出することにより、評価領域の情報を得る電子線装置において、検出手段26は、エリアセンサCCD1〜CCD14と、エリアセンサの検出面に一端が結合されたオプティカルファイバ束25と、オプティカルファイバ束の他端に塗布され、副視野の2次電子線が結像されるシンチレータが形成されたFOPとからなる単位検出器24-1を複数備える。電磁偏向器により、電子線を照射する副視野が移る毎に、該副視野からの2次電子線を偏向して、単位検出器のFOP面上を移動させる。各単位検出器から、他の単位検出器の露光中に画像情報を取り出すことができるので、高速画像取得ができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

試料面の評価領域を複数の副視野に分割し、1次電子線を偏向器で偏向させることにより電子線を各副視野に順次照射し、各副視野毎に試料面の情報を含んだ2次電子を検出手段により検出することにより、評価領域の情報を得るようにした電子線装置において、検出手段は、エリアセンサと、エリアセンサの検出面に一端が結合されたオプティカルファイバ束と、オプティカルファイバ束の他端に塗布され、副視野の2次電子線が結像されるシンチレータが形成されたFOPとからなる単位検出器を複数備え、電子線装置は、電子線を照射する副視野が移る毎に、該副視野からの2次電子線を偏向して、検出手段を構成する複数の単位検出器のFOP面上を移動させる電磁偏向器を備えていることを特徴とする電子線装置。

IPC (6件)：

H01J 37/29 , G01T 1/20 , H01J 37/147 , H01J 37/22 , H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (6件)：

H01J37/29 , G01T1/20 C , H01J37/147 B , H01J37/22 502H , H01J37/244 , H01J37/28 B

Fターム (14件)：

2G088AA01 , 2G088FF14 , 2G088GG14 , 2G088GG18 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 5C033FF05 , 5C033NN01 , 5C033NP02 , 5C033NP06 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5C033UU04 , 5C033UU08

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