特許
J-GLOBAL ID：200903072052865472
強靱性複合多層被覆工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032334
公開番号（公開出願番号）：特開平11-222665
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 高速度工具鋼および超硬合金を基材とする工具の表面にTiAl系高硬度硬質複合被膜の最適な多層膜を形成し、靱性、耐摩耗性を向上する。【解決手段】 被覆膜の多層構成を10層〜30層、被覆膜の全体の膜厚2.0〜10μm、最下層を被覆膜構成が炭素原子比率=C/(C+N)=tとして膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiN又はTiCN(0≦t≦0.2)層、第2層をAl原子比率=Al/(Ti+Al)=uとして、膜厚0.1〜0.5μmの第1層と異なる結晶配向のTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)層、第3層を膜厚が0.1〜0.5μmの第1層と同層とし、これを交互に8層以上積層し最上層を、膜厚0.2μm〜1.0μmのTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)又は、0.2〜2μmのTi<SB>x </SB>N<SB>y </SB>(0.2<y/x<0.7)とする。
請求項（抜粋）：
高速度工具鋼および超硬合金を基材とする工具において次の(a)及び(b)及び(c)の条件を満足させたことを特徴とする強靭性複合多層被覆工具。(a)被覆膜の成分がTi,Al,C,Nよりなる複合膜である。(b)膜の多層構成が10層以上の構造からなり、被覆膜の全体の膜厚が2.0〜10μmであり、その被覆膜の構成が炭素原子比率=C/(C+N)=tとして膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiNまたはTiCN(0≦t≦0.2)の均一組織を前記基材に接する最下層として第1層に成膜し、さらにAl原子比率=Al/(Ti+Al)=uとして、膜厚が0.1〜0.5μmの、第1層とは結晶配向の異なるTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)を第2層として積層し、ふたたび第3層として、膜厚が0.1〜0.5μmの前記第1層の成分の膜を積層し、この操作を交互に繰り返すことにより第1層の成分と第2層の成分からなる8層以上の多層膜を被覆する。(C)(b)の多層構成の最上層は、膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiAlCN(0.25≦u≦0.55、0≦t≦0.7)を、あるいは0.2〜2μmのTi<SB>x </SB>N<SB>y </SB>(0.2<y/x<0.7)を積層して、全体の層数が10層〜30層であることを特徴とする。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C23C 14/06 A
, C23C 14/06 H
, C23C 14/06 P
, B23B 27/14 A
