特許
J-GLOBAL ID:200903072053352835
アナログフィルタのカットオフ周波数調整方法および半導体集積回路装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
筒井 大和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-098627
公開番号(公開出願番号):特開平11-298292
出願日: 1998年04月10日
公開日(公表日): 1999年10月29日
要約:
【要約】【課題】 高精度にカットオフ周波数を自動的に調整することにより、プローブ検査のトリミングを不要とし、半導体集積回路装置の製造効率を向上させる。【解決手段】 電子機器の電源がONされ、トレーニングモードが開始されると、波形格納メモリ26から出力されたデジタルの正弦波形データをD/A変換器27によってアナログ波形に変換し、判定制御回路30によってカットオフ周波数が最低に設定されたアナログフィルタ部4に入力する。アナログフィルタ部4の出力信号をA/D変換器28によって再びデジタル波形に変換し、積和器29により実効値を算出する。判定制御回路30は、その実効値と変換テーブルとに基づいてカットオフ周波数が最適となるようにアナログフィルタ部4の静電容量値を可変する。
請求項(抜粋):
半導体集積回路装置に設けられた抵抗、静電容量素子ならびに能動素子からなるアナログフィルタのカットオフ周波数調整方法であって、調整用の正弦波デジタル信号をアナログ信号に変換する工程と、前記アナログフィルタの静電容量値を最大に可変し、前記アナログフィルタのカットオフ周波数を最低に設定する工程と、静電容量値が最大にされた前記アナログフィルタに変換されたアナログ信号を入力し、前記アナログフィルタから出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換する工程と、変換されたデジタル信号の実効値を算出する工程と、その実効値から変換テーブルに基づいて前記アナログフィルタの減衰量を検知し、静電容量値を可変させ、前記アナログフィルタのカットオフ周波数を調整する工程とを有することを特徴とするカットオフ周波数調整方法。
IPC (2件):
FI (2件):
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