特許
J-GLOBAL ID：200903072059534390
走査型プローブ顕微鏡の探針・試料接近機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121139
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281119
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 応答性を高め、探針・試料間の接近動作で高速自動接近を達成し、フェイルセーフ機能を有し、探針や試料の破壊を防止する。【解決手段】 本発明による走査型プローブ顕微鏡は、大気環境で接近動作が行われ、探針12を先部に有するカンチレバー11を備える。試料表面には吸着層が形成される。探針・試料接近機構は粗動を行うZステージ31を含む。Zステージはスッテピングモータを含み、パルス信号で駆動される。またカンチレバーを発振させる圧電素子13を備える。Zステージを駆動するパルス信号はカンチレバーの発振動作に基づいて作られる。
請求項（抜粋）：
先部に探針を有するカンチレバーを備え、前記探針と試料を接近させ、前記探針と前記試料の表面との間の相互作用に基づき当該表面の微細性状を大気環境で測定する走査型プローブ顕微鏡において、パルス信号で動作するように構成され、前記探針と前記試料を接近させる接近装置と、前記カンチレバーを発振させる発振装置とを備え、前記パルス信号で前記接近装置を駆動して前記探針と前記試料を接近させるとき、前記カンチレバーの発振動作から得られる発振信号に基づいて前記パルス信号を生成したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針・試料接近機構。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
