特許

J-GLOBAL ID：200903072067562115

真空紫外レ-ザのパワ-測定装置

発明者： 若林 理 ,  榎波 龍雄 ,  永井 伸治
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013528
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213983
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 常に正確に真空紫外領域のレーザ光のパワーを測定することが可能な、真空紫外レーザのパワー測定装置を提供する。【解決手段】 真空紫外レーザ1から発振する真空紫外領域のレーザ光11のパワーを測定する、真空紫外レーザ1のパワー測定装置3において、入射したレーザ光11,11Aのパワーに応じた強度の蛍光14を発生する蛍光板15と、この蛍光板15から発生した蛍光14の強度を測定する蛍光検出器17と、測定された蛍光14の強度に基づいてレーザ光11のパワーを演算する演算装置18とを備えている。このように、蛍光14の強度を測定することにより、レーザ光11をパワー測定装置3に直接入射させることなくレーザ光11のパワーを測定することができる。

請求項（抜粋）：

真空紫外レーザ(1)から発振する真空紫外領域のレーザ光(11)のパワーを測定する、真空紫外レーザ(1)のパワー測定装置(3)において、入射したレーザ光(11,11A)のパワーに応じた強度の蛍光(14)を発生する蛍光板(15)と、この蛍光板(15)から発生した蛍光(14)の強度を測定する蛍光検出器(17)と、測定された蛍光(14)の強度に基づいてレーザ光(11)のパワーを演算する演算装置(18)とを備えたことを特徴とするパワー測定装置(3)。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  B23K 26/00 ,  G01J 1/58 ,  H01S 3/00

FI (5件)：

G01J 1/02 K ,  G01J 1/02 G ,  B23K 26/00 N ,  G01J 1/58 ,  H01S 3/00 G

Fターム (16件)：

2G065AA04 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065AB11 ,  2G065AB16 ,  2G065BA09 ,  2G065BA29 ,  2G065BC13 ,  2G065BC21 ,  2G065CA23 ,  2G065DA05 ,  4E068CA02 ,  4E068CC01 ,  5F072AA07 ,  5F072JJ20 ,  5F072YY20