特許

J-GLOBAL ID：200903072071268540

基板の受け渡し方法及び露光装置

発明者： 坂本 英昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-154931
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320948
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 基板を基板ホルダに受け渡す際の基板の位置ずれの発生を確実に抑制する。【解決手段】 基板Wが搬送アーム(図3では図示せず)に保持されて受け渡し位置まで搬送されると、この受け渡し位置に搬送された基板の傾斜が計測手段(52A,52B,52C,52D)によって計測され、この計測結果に基づいて基板ホルダ34の基板との接触面が基板Wと平行になるように基板ホルダ34の傾斜が調整され、しかる後、センターアップ56が下降して基板Wが基板ホルダ34上に載置される。このため、基板ホルダへの基板の受け渡し前に、基板ホルダの基板接触面の傾斜角と基板の傾斜角の差がゼロに追い込まれ、この角度差に起因する基板ホルダへの受け渡しの際の基板の位置ずれの発生を確実に防止することが出来る。

請求項（抜粋）：

ステージ上に設けられた基板ホルダに基板を受け渡す基板の受け渡し方法であって、所定の受け渡し位置に搬送される基板と前記基板ホルダとの相対的な傾斜を計測する第1工程と;前記受け渡し位置に基板を搬送する第2工程と;前記第1工程の計測結果に基づいて、前記基板ホルダの基板との接触面が前記受け渡し位置に搬送された基板と平行になるように、前記受け渡し位置に搬送された基板及び前記基板ホルダの少なくとも一方の傾斜を調整する第3工程と;しかる後、前記基板及び基板ホルダの傾斜を維持した状態で前記基板を前記基板ホルダ上に載置する第4工程とを含むことを特徴とする基板の受け渡し方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 514 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A