容器の内面を処理する方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川合誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-541920
公開番号（公開出願番号）：特表2000-510910
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】被処理容器(1)の内面に、プラズマ処理が施され、例えば、清浄化され、活性化され、殺菌され又はコーティングされる。この場合、プラズマは内部部材(3)と被処理容器(1)との間の狭い空間に閉じ込められ、内部部材(3)は、被処理容器(1)の内部の形状に対応させられ、中空であり、プロセスに応じて、非導電材料又はマイクロ波を透過させない有孔質状態又は多孔質状態の壁を有する。内部部材(3)はガス/蒸気混合物の供給源に接続され、前記ガス/蒸気混合物は、内部部材(3)の壁を通して内部部材(3)と被処理容器(1)の内面との間の空間に押し込まれる。壁を介してガス/蒸気混合物を押し込むときに十分な圧力降下が生じ、内部部材(3)内の圧力(p2)がプラズマを励起するには高過ぎ、内部部材(3)外の圧力(p1)がプラズマを励起するには十分に低くなるように、内部部材(3)の有孔質状態又は多孔質状態が設計される。狭い開口を備えた被処理容器(1)に適用することができるように、内部部材(3)は、好ましくは、弾性を有し、かつ、膨張可能な材料から成り、圧力差によって膨張するように設計される。

請求項（抜粋）：

開口を備えた被処理容器(1)内にプラズマを形成し、該プラズマ中に特定のガス及び/又は蒸気混合物を流し、被処理容器(1)の内面にプラズマ処理を施すことによって容器の内面を処理する方法において、被処理容器(1)の内部の形状に対応する形状を備えた内部部材(3)内にガス及び/又は蒸気混合物を供給し、有孔質状態又は多孔質状態にされた内部部材(3)の壁を通して、前記ガス及び/又は蒸気混合物を内部部材(3)と被処理容器(1)の内面との間の空間に押し込んで所定の圧力降下を生じさせ、かつ、前記空間の真空引きを行って、プラズマを励起するのに適した圧力(p1)を前記空間内に形成し、プラズマを励起するには高過ぎる圧力(p2)を内部部材(3)内に形成して、前記空間内にプラズマを閉じ込めることを特徴とする容器の内面を処理する方法。

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