特許
J-GLOBAL ID：200903072074946069
移動案内装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327179
公開番号（公開出願番号）：特開平5-162040
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 リニアモータのコイルに発生するジュール熱による推力低下とステージの熱変形を防止し、高精度の位置移動制御を可能とする。【構成】 固定ベッド20上に設けられた第1のガイド22上を直線往復移動可能な第1のステージ21と、この第1のステージ21上に設けられた第2のガイド25上を直線往復移動可能な第2のステージ24と、第1のステージ21と第2のステージ24をそれぞれ駆動する第1と第2の駆動手段23、26とを備え、第1と第2の駆動手段23、26は、コイルが巻かれた固定子31と固定子31に沿って直線運動する磁石を取付けた可動子33にて構成し、かつ固定子31に可動子33の位置を検出するホール素子を設けるとともに可動子33に固定子31の各コイル32表面に向けてそれぞれ冷却流体を流す冷却孔36を設け、各冷却孔36と冷却流体発生手段38とを結ぶ冷却流体供給経路37とを設け、駆動時にコイル32に発生したジュール熱を冷却流体により冷却する。
請求項（抜粋）：
固定ベッド上に第1の方向と平行に設けられた第1のガイドと、この第1のガイド上を直線往復移動可能な第1のステージと、この第1のステージ上に第1の方向と直角な第2の方向と平行に設けられた第2のガイドと、この第2のガイド上を直線往復移動可能な第2のステージと、第1のステージと第2のステージをそれぞれ駆動する第1と第2の駆動手段とを備え、第1と第2の駆動手段は、コイルが巻かれた固定子と固定子に沿って直線運動する磁石を取付けた可動子にて構成し、かつ固定子に可動子の位置を検出する位置検出手段を設けるとともに可動子に固定子の各コイル表面に向けてそれぞれ冷却流体を流す冷却孔を設け、各冷却孔と冷却流体発生手段とを結ぶ経路手段とを設けたことを特徴とする移動案内装置。
IPC (5件)：
B23Q 5/28
, B23Q 1/18
, B23Q 11/12
, H02K 41/02
, H02K 41/03
