特許

J-GLOBAL ID：200903072076571313

投影光学系

発明者： 須藤 武司 ,  市原 裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193744
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039208
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】難しくなってゆく部材製造や光学系の調整を容易化すること。【解決手段】屈折部材からなり物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する。また、反射鏡を含み物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する。

請求項（抜粋）：

屈折部材からなり物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも1つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償する投影光学系。

IPC (5件)：

G02B 13/24 ,  G02B 17/08 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G02B 13/24 ,  G02B 17/08 A ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517