特許

J-GLOBAL ID：200903072080621775

現像処理装置における処理槽のポンプ装置

発明者： 上野 浩史
出願人/特許権者： ノーリツ鋼機株式会社
代理人 (1件)： 杉本 勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062599
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258884
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】1種類のポンプ装置で、ポンプ能力を変えて各処理槽ごとに実際に必要な循環量または補給量に合った液排出量が得られるようにする。【解決手段】処理液を処理槽に供給するための現像処理装置における処理槽のポンプ装置であって、ポンプ装置がモータで駆動され、該モータの一定時間あたりの回転数でポンプ装置の液排出量が決定され、該モータの一定時間あたりの回転数を処理槽への処理液の必要供給量に合わせて制御する構成とした。

請求項（抜粋）：

処理液を処理槽に供給するための現像処理装置における処理槽のポンプ装置であって、ポンプ装置がモータで駆動され、該モータの一定時間あたりの回転数でポンプ装置の液排出量が決定され、該モータの一定時間あたりの回転数を処理液の処理槽への必要供給量に合わせて制御することを特徴とする現像処理装置における処理槽のポンプ装置。

Fターム (10件)：

2H098AA02 ,  2H098AA05 ,  2H098BA03 ,  2H098BA15 ,  2H098BA18 ,  2H098BA37 ,  2H098DA15 ,  2H098EA03 ,  2H098GA01 ,  2H098JA10