特許
J-GLOBAL ID:200903072082070725

不活性ガスを単離して回収する方法及び該方法を実施するための装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮越 典明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-196730
公開番号(公開出願番号):特開2002-200410
出願日: 2001年06月28日
公開日(公表日): 2002年07月16日
要約:
【要約】【課題】 吸着法を適用して“不純ガス乃至汚染ガスを含む不活性ガス”から不活性ガスを単離・回収し、“高純度不活性ガス”として再利用を図る「不純ガス乃至汚染ガスを含む不活性ガスから不活性ガスを単離して回収する方法、および、該方法を実施するための装置」を提供する。【解決手段】 図3に示すように、窒素ガスの存在下に化学反応を行う反応槽31から連続的に排出される“汚染窒素”を吸着塔37Aに導入し、C-2から“高純度窒素”として反応槽31に戻し、循環再使用する。一方、脱着に切り換えた後の吸着塔37Aは、D-1からパージ用空気を導入し、D-2を経由して分離器41で気液を分離した後、液化した汚染成分ガスをD-4から系外に取り出し、未凝縮ガスをD-3から排出し、廃棄ガスとして処分する。
請求項(抜粋):
吸着と脱着を交互に行う“吸着剤層を有する吸着装置”を用い、一方の吸着装置に不純ガス乃至汚染ガスを混在してなる不活性ガスを通過せしめ、該吸着装置内の吸着剤層に不純ガス乃至汚染ガスを吸着させ、実質的に不純ガス乃至汚染ガスを含まない不活性ガスを吸着装置の出口において回収し、その間に、他方の吸着装置を脱着に切り換えることから成る不活性ガスの単離して回収する方法であって、該吸着剤層が前記不純ガス乃至汚染ガスでプレコートして成る合成ゼオライト及び/又は疎水性シリカゲルからなる不燃性の個体吸着剤を充填した層であって、脱着時に真空ポンプとパージガスを併用し、吸・脱着の切り換え時間を1〜30分とし、かつ、真空ポンプのパージ排ガスを冷却して不純ガスを液化し、系外に取り出すことを特徴とする不活性ガスを単離して回収する方法。
IPC (4件):
B01D 53/04 ,  B01D 53/14 ,  C01B 21/04 ,  B01J 20/10
FI (4件):
B01D 53/04 B ,  B01D 53/14 C ,  C01B 21/04 B ,  B01J 20/10 D
Fターム (22件):
4D012CA11 ,  4D012CA20 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CE03 ,  4D012CF01 ,  4D012CG01 ,  4D012CH04 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ02 ,  4D020AA08 ,  4G066AA22B ,  4G066AA61B ,  4G066BA24 ,  4G066CA04 ,  4G066CA32 ,  4G066CA33 ,  4G066CA51 ,  4G066DA01 ,  4G066DA05 ,  4G066GA06 ,  4G066GA14
引用特許:
審査官引用 (4件)
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