特許
J-GLOBAL ID：200903072088865339
観測領域設定方法およびその装置、ならびにこの観測領域設定方法を用いた外観検査方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-332817
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184711
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 観測領域の設定を適正かつ効率良く行う。【解決手段】 目視検査用の外観検査装置において、あらかじめ部品種毎に撮像領域や観測倍率を設定し、これをライブラリデータとしてメモリ23内に格納する。このメモリ23には、被検査基板上の各部品の部品種や位置データを記憶するCADデータも格納されており、ティーチング時に制御部22は、CADデータにより得られる各部品の位置データと対応するライブラリデータとを結びつけて、基板上の各部品における視野領域や観測倍率を確定する。さらに制御部22は、これら確定データを用いて各観測倍率毎に基板上に複数の観測領域を設定し、その設定情報をメモリ23に記憶する。検査時には、制御部22は、各観測領域の設定情報を用いて撮像部2の位置および倍率を制御し、各観測領域内の画像データを順次取り込んでモニタ6に表示させる。
請求項（抜粋）：
表面に複数個の部品が配備された対象物上に各部品の配置状態の良否を検査するための複数個の観測領域を設定する観測領域設定方法であって、前記対象物上の各部品毎に、対象物に対する相対的な位置データとその部品の属する部品種についてあらかじめ設定された視野領域に関わるデータとを結びつけることにより、対象物上に各部品の視野領域を確定する第1の工程と、確定された各視野領域を用いて対象物上に複数個の観測領域を設定する第2の工程とを順に実行することを特徴とする観測領域設定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/24 K
, G01B 11/24 C
, G06F 15/62 405 B
