レジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132809
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312054
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】難燃性でかつ環境汚染の問題がないレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物及びかかるレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物を用いたレジスト組成物の提供。【解決手段】次の(A)成分及び(B)成分を含んでなるレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物。(A)成分:下記一般式(1)又は(2)で表されるリン化合物【化1】【化2】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8は、同一又は異なって一官能性の脂肪族基、又は芳香族基を示す。)(B)成分:分子中にカルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂;レジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物、反応性希釈剤及び/又は有機溶剤、並びに光重合開始剤を配合したレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

次の(A)成分及び(B)成分を含んでなるレジスト用エネルギー線硬化型樹脂組成物。(A)成分:下記一般式(1)又は(2)で表されるリン化合物【化1】【化2】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8は、同一又は異なって一官能性の脂肪族基、又は芳香族基を示す。)(B)成分:分子中にカルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂

IPC (9件)：

G03F 7/004 501 , C07F 9/6574 , C08F 2/50 , C08F299/02 , C08G 59/42 , C08K 5/5313 , C08L 55/00 , G03F 7/027 515 , C09K 21/12

FI (9件)：

G03F 7/004 501 , C07F 9/6574 A , C08F 2/50 , C08F299/02 , C08G 59/42 , C08K 5/5313 , C08L 55/00 , G03F 7/027 515 , C09K 21/12

Fターム (67件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA01 , 2H025CB30 , 2H025CC03 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4H028AA35 , 4H028AA42 , 4H028BA06 , 4H050AA03 , 4H050AB80 , 4H050AB92 , 4J002BQ001 , 4J002CD002 , 4J002CD042 , 4J002CD052 , 4J002CD062 , 4J002CD142 , 4J002EA058 , 4J002ED087 , 4J002EE027 , 4J002EE038 , 4J002EE057 , 4J002EH038 , 4J002EH078 , 4J002EV317 , 4J002EW146 , 4J002FD136 , 4J002GP03 , 4J011QB22 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA51 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011UA06 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J027AE03 , 4J027AJ05 , 4J027CB10 , 4J027CC03 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CC08 , 4J027CD10 , 4J036AA01 , 4J036AC18 , 4J036AD08 , 4J036AF06 , 4J036DB17 , 4J036DB20 , 4J036DB25 , 4J036HA01 , 4J036JA09

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