研磨方法及び研磨システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108089
公開番号（公開出願番号）：特開2000-296465
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドの性能を高い状態で維持して、高精度でウェハを研磨する。【解決手段】研磨パッドの負荷比率Bを求めると共に(ステップ4)、ウェハの研磨量分布U及びウェハの平均研磨量Aを求め(ステップ11,13)、これらの値B,U,Aに応じてドレッシング荷重を変更し、このドレッシング荷重でドレッシングを行う。

請求項（抜粋）：

被加工物に対して研磨工具を相対移動させて、該被加工物を研磨する研磨方法において、前記研磨工具の負荷比率を測定すると共に、前記被加工物の複数箇所における研磨量を測定し、前記被加工物の複数箇所における各研磨量から該被加工物の研磨量分布を求め、前記研磨工具の負荷比率及び前記被加工物の研磨量分布に応じて、ドレス工具による前記研磨工具のドレッシング条件を定め、前記ドレッシング条件で、前記研磨工具を前記ドレス工具によりドレッシングする、ことを特徴とする研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 49/18 , B24B 53/00 , G01B 21/30 102

FI (3件)：

B24B 49/18 , B24B 53/00 A , G01B 21/30 102

Fターム (19件)：

2F069AA57 , 2F069BB02 , 2F069DD30 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG20 , 2F069HH30 , 3C034AA13 , 3C034AA17 , 3C034BB87 , 3C034CA11 , 3C034CA16 , 3C034CA22 , 3C034CA30 , 3C034CB12 , 3C034DD20 , 3C047AA03 , 3C047AA08

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