特許
J-GLOBAL ID：200903072103888960
マイクロレンズ形成に用いられる感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大島 正孝
, 勝又 秀夫
, 白石 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-166537
公開番号（公開出願番号）：特開2009-003366
出願日： 2007年06月25日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】低温焼成を採用した場合でも、膜厚、解像度、パターン形状、耐熱性、透明性、耐熱変色性、耐溶剤性等に優れたマイクロレンズを形成でき、また保存安定性も良好な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)アルカリ可溶性共重合体、(B)重合性不飽和化合物、(C)光ラジカル発生剤、(D)一分子中にオキセタニル基を2個以上有する化合物(但し、オキセタニル基を有するアルカリ可溶性共重合体を除く)、ならびに(E)酸発生剤を含有しそして上記(A)アルカリ可溶性共重合体が(A1)(a1)酸性官能基を有する重合性不飽和化合物と、(a2)N位-置換マレイミドおよび(a3)前記(a1)、(a2)と異なる他の重合性不飽和化合物の共重合体を含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性共重合体、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光ラジカル発生剤、(D)一分子中にオキセタニル基を2個以上有する化合物(但し、一分子中にオキセタニル基を2個以上有するアルカリ可溶性共重合体を除く)、ならびに(E)酸発生剤を含有しそして上記(A)アルカリ可溶性共重合体が(A1)(a1)酸性官能基を有する重合性不飽和化合物と、(a2)N位-置換マレイミドおよび(a3)前記(a1)、(a2)と異なる他の重合性不飽和化合物の共重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/40
, G02B 1/04
, G02F 1/133
G03F7/033
, G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, G03F7/40 501
, G02B1/04
, G02F1/1335
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA06
, 2H025AA10
, 2H025AA11
, 2H025AB11
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC07
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC43
, 2H025CA03
, 2H025CA35
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H091FA29Y
, 2H091FA29Z
, 2H091FB02
, 2H091FC10
, 2H091FD04
, 2H091FD22
, 2H091LA04
, 2H091LA06
, 2H091LA16
, 2H091LA17
, 2H096AA28
, 2H096BA05
, 2H096CA16
, 2H096EA02
, 2H096EA03
, 2H096EA05
, 2H096EA06
, 2H096EA07
, 2H096EA08
, 2H096GA09
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 2H191FA56Y
, 2H191FA56Z
, 2H191FA62Y
, 2H191FA62Z
, 2H191FB02
, 2H191FC10
, 2H191FD04
, 2H191FD42
, 2H191LA04
, 2H191LA06
, 2H191LA21
, 2H191LA22
