特許

J-GLOBAL ID：200903072109096918

露光装置および露光方法

発明者： 窪田 泰仁 ,  石田 麻子 ,  関 昌美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141123
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332218
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 大型基板の受け渡しを容易に行なうことができる露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置1は、平面内の所定範囲を移動するステージ装置PSTと、露光中に基板Pを保持し、そのステージ装置PSTに対してその平面と平行な方向に相対移動可能に支持される基板保持装置12と、露光が行なわれる露光空間とその露光空間外の非露光空間との間でその基板保持装置12をその平面と平行に駆動する駆動装置15、16、20、21とを有する。

請求項（抜粋）：

基板を露光する露光装置において、平面内の所定範囲を移動するステージ装置と、露光中に前記基板を保持し、前記ステージ装置に対して前記平面と平行な方向に相対移動可能に支持される基板保持装置と、前記露光が行なわれる露光空間と、前記露光空間外の非露光空間との間で前記基板保持装置を前記平面と平行に駆動する駆動装置とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 514 D

Fターム (10件)：

2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA20 ,  5F031HA57 ,  5F031MA27 ,  5F046BA05 ,  5F046CD01 ,  5F046CD03