特許

J-GLOBAL ID：200903072110484581

表面形状測定方法

発明者： 日高 和彦 ,  齋藤 章憲 ,  岡本 清和
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-221243
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099639
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 振動式の接触検出における被測定物の接触点毎の収束時間の影響を回避し、測定精度を高く維持しつつ作業効率を高められる表面形状測定方法を提供すること。【解決手段】 指令速度ベクトルVnの指令により、タッチ信号プローブ100を移動させて測定すべき表面に接触させる工程、検出回路5から出力される検出信号の振幅情報値Anが所定の基準情報値Asとなるように測定すべき表面との距離を制御しつつ、タッチ信号プローブ100を測定すべき表面に沿って移動させ、振幅情報値Anとこれに対応する実位置rnを出力してゆくことで測定すべき表面を走査する工程、振幅情報値Anとこれに対応する実位置rnから振幅情報値Anが一定になるように走査した場合に得られると推定される推定表面位置Rnを演算する工程を含むことを特徴とする表面形状測定方法。

請求項（抜粋）：

外部からの指令により三次元空間内を所定の指令速度ベクトルで運動する支持体と、この支持体に支持されかつ被測定物に接触する接触部を有するスタイラスと、前記スタイラスを軸方向に周波数f1で共振させる加振手段と、この加振手段による前記スタイラスの振動の変化を検出する検出手段とを備えた接触検出プローブを用い、前記被測定物の表面に前記接触部が接触した際の支持体の位置から前記被測定物の表面形状を測定する表面形状測定方法であって、前記指令速度ベクトルの指令により、前記接触検出プローブを移動させて前記被測定物の測定すべき表面に接触させる工程、前記検出回路から出力される前記検出信号の振幅情報値Anが所定の基準情報値Asとなるように前記測定すべき表面との距離を制御しつつ、前記接触検出プローブを前記測定すべき表面に沿って移動させ、前記振幅情報値Anとこれに対応する実位置rnを出力してゆくことで前記測定すべき表面を走査する工程、前記振幅情報値Anとこれに対応する実位置rnから、前記振幅情報値Anが一定になるように走査した場合に得られると推定される推定表面位置Rnを演算する工程を含むことを特徴とする表面形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 7/00 ,  G01B 21/00

FI (3件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 7/00 U ,  G01B 21/00 P