特許
J-GLOBAL ID：200903072111089716
集束ビームのフォーカス調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003078
公開番号（公開出願番号）：特開平9-190792
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 ノイズ成分に影響されず、集束ビームのフォーカス状態を正しく測定することができる荷電粒子ビームの測定方法を実現する。【解決手段】 検出器27におけるナイフエッジ部材を横切って電子ビームの走査を行う。この走査により、検出器27から得られた信号は、AD変換器28を経て演算回路29に供給される。演算回路29において、各データから初期値の1/2を引いて絶対値化し積算を行う。この演算を対物レンズ14の励磁を複数回変化させて行う。この結果得られたフォーカスと電流積算値との曲線のピーク位置から最適フォーカス値を求める。ジャストフォーカス位置が求められたら、演算回路26より制御CPU18にその値が供給される。制御CPU18は演算回路26からの信号に基づいて、対物レンズ制御回路22を制御し、対物レンズ14にジャストフォーカスとなる励磁電流を供給する。
請求項（抜粋）：
集束ビームを直線状のエッジを有した部材を横切って走査し、この走査に伴って検出された信号に対してその信号の最大振幅の1/2を差し引き、その差信号の絶対値を積算すると共に、前記積算を集束ビームのフォーカスを多数回変えてそれぞれのフォーカス状態で実行し、得られた多数の積算結果に基づき、積算結果のピーク時のフォーカスに集束ビームを調整するようにした集束ビームのフォーカス調整方法。
IPC (4件)：
H01J 37/21
, G02B 3/00
, G02B 7/28
, H01J 37/305
H01J 37/21 B
, G02B 3/00 A
, H01J 37/305 B
, G02B 7/11 H
