特許

J-GLOBAL ID：200903072113093788

高α型高純度窒化ケイ素粉末の製造方法

発明者： 桑原 治由 ,  大塚 昭男 ,  牧 康之 ,  進藤 敏彦
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-034212
公開番号（公開出願番号）：特開平6-219715
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【構成】 金属ケイ素粉末に酸化カルシウムの添加下において窒素を直接反応させてα化率が90重量%以上の窒化ケイ素粉末を製造する方法において、金属ケイ素粉末として金属不純物含有量が2000ppm以下、酸素含有量が0.1〜0.4重量%、平均粒子径が5〜20μmのものを用いると共に、酸化カルシウムを金属ケイ素粉末100重量部に対して0.2〜0.7重量部添加することを特徴とする高α型高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。【効果】 本発明の窒化ケイ素粉末の製造方法によれば、高α型であると共に、高純度である窒化ケイ素粉末を簡単、かつ確実に製造することができる。

請求項（抜粋）：

金属ケイ素粉末に酸化カルシウムの添加下において窒素を直接反応させてα化率が90重量%以上の窒化ケイ素粉末を製造する方法において、金属ケイ素粉末として金属不純物含有量が2000ppm以下、酸素含有量が0.1〜0.4重量%、平均粒子径が5〜20μmのものを用いると共に、酸化カルシウムを金属ケイ素粉末100重量部に対して0.2〜0.7重量部添加することを特徴とする高α型高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-260748
  
• 特公平2-047907
  
• 特開平2-149162