特許
J-GLOBAL ID：200903072121245600
静圧気体軸受およびそれを用いたステージ装置およびそれを用いた光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森岡 正樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999003077
公開番号（公開出願番号）：WO1999-066221
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月23日
要約：
【要約】本発明は、相対的に移動可能な2つの部材(固定部および可動部)間に気体層を設けて所定の間隔に維持する静圧気体軸受およびステージ装置および光学装置に関し、装置の大きさを抑えることができると共に、配管の引き回しを容易にできる静圧気体軸受およびステージ装置および光学装置を提供することを目的とする。固定部4と、固定部4に沿って移動可能に設けられた可動部3とを備え、固定部4と可動部3との間の気体層により固定部4と可動部3との間を所定の間隔に維持する静圧気体軸受において、可動部3は、固定部4との間の気体層に気体を送り込む軸受パッド3aと、軸受パッド3aにより送り込まれた気体を排気するための排気溝3cとを有し、固定部4は、排気溝3cと対向する位置に設けられた排気口4aを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
固定部と、前記固定部に沿って移動可能に設けられた可動部とを備え、前記固定部と前記可動部との間の気体層により前記固定部と前記可動部との間を所定の間隔に維持する静圧気体軸受において、 前記可動部は、 前記固定部との間の前記気体層に気体を送り込む気体送り込み部と、 前記気体送り込み部により送り込まれた前記気体を排気するための排気溝とを有し、 前記固定部は、 前記排気溝と対向する位置に設けられた排気口を有することを特徴とする静圧気体軸受。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 A
, H01J 37/20 A
