特許

J-GLOBAL ID：200903072127785062

生産管理システム

発明者： 平山 富男
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245908
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068102
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 2つの以上の生産管理情報を、表示器の同一画面上にグラフ化して同時に映し出すことができる生産管理システムを得る。【構成】 半導体製造装置1の動作を製造するCPU3aとは異なる別CPU3bを設け、CPU3aから半導体製造装置1の生産情報をCPU3b内の生産情報データファイル6に蓄積し、異なる複数の生産管理情報を特定する外部データに基づいて、データ編集手段8によって該データファイル6からこれら複数の生産管理情報を構成するデータを取り出して、生産管理情報毎のデータ群に編集し、得られた生産管理情報毎の複数の編集データ群を、画像情報変換手段9と画像情報合成手段10によって、表示器2aの同一画面内にグラフ化して映し出す。

請求項（抜粋）：

物品の製造装置を制御するCPUと、該製造装置から得られる製品の生産管理を行うCPUとを各々独立に設けてなる生産管理システムであって、上記生産管理を行うCPUが、上記製造装置を制御するCPUからの生産情報を収容するデータファイルと、複数の互いに異なる生産管理情報を特定する外部データにより、上記データファイルに収容された生産情報から、上記生産管理情報を構成する情報のみを取り出し、取り出された情報を個々の生産管理情報を構成する情報群毎に編集し、記憶するデータ編集手段と、上記記憶された複数の情報群を、各情報群毎に画像情報に変換する画像情報変換手段と、上記複数の画像情報に変換された複数の情報群を、各情報群毎にグラフ化し、相互に関連づけて記憶する画像合成手段と、上記複数のグラフ化した情報群を、表示器内の同一画面上に同時に移し出す画像出力手段とを含んで構成されていることを特徴とする生産管理システム。

IPC (4件)：

G06F 15/21 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 3/153 320 ,  H01L 21/02