特許

J-GLOBAL ID：200903072132031750

走査露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 黒澤 博史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-362867
公開番号（公開出願番号）：特開2005-129674
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 面形状におけるベストフォーカス追従性能を向上させる。【解決手段】 基板を走査しながら前記基板にパターンを投影する走査露光装置であって、前記基板を移動させる駆動手段と、前記投影方向における、前記基板の被処理領域の位置を計測する計測手段と、前記計測手段による計測結果に基づいて、前記被処理領域の近似面形状を算出する第1算出手段と、前記近似面形状と、前記計測手段による前記投影中の計測結果とに基づいて、前記駆動手段を制御する制御手段とを備える。【選択図】 図10

請求項（抜粋）：

基板を走査しながら前記基板にパターンを投影する走査露光装置であって、 前記基板を移動させる駆動手段と、 前記投影方向における、前記基板の被処理領域の位置を計測する計測手段と、 前記計測手段による計測結果に基づいて、前記被処理領域の近似面形状を算出する第1算出手段と、 前記近似面形状と、前記計測手段による前記投影中の計測結果とに基づいて、前記駆動手段を制御する制御手段と を備えたことを特徴とする走査露光装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G03F7/22 ,  G03F9/02

FI (5件)：

H01L21/30 516B ,  G03F7/22 H ,  G03F9/02 H ,  H01L21/30 518 ,  H01L21/30 526B

Fターム (7件)：

5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046CC13 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DD03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-299716号
  
• 特開平2-102518号公報
  
• 特公平6-52707号公報