特許
J-GLOBAL ID:200903072134425020

スラリーの分離方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-115140
公開番号(公開出願番号):特開平11-300115
出願日: 1998年04月24日
公開日(公表日): 1999年11月02日
要約:
【要約】【課題】 装置のもつ特長を活かした構成とすることによって、小型の装置にてスラリーを再利用可能な微粒子フレークと液とに効果的に分離する。【解決手段】 微粒子混合スラリーを微粒子フレークと液とに分離するスラリーの分離方法であって、スラリー2をセラミックフィルタ6に導いて清浄液7と濃縮スラリー8とに分離した後、濃縮スラリー8を遠心分離機12に導いて連続的に微粒子フレーク13と分離液14とに分離する。
請求項(抜粋):
微粒子混合スラリーを微粒子と液とに分離するスラリーの分離方法であって、スラリーをセラミックフィルタに導いて清浄液と濃縮スラリーとに分離した後、濃縮スラリーを遠心分離機に導いて連続的に微粒子フレークと分離液とに分離することを特徴とするスラリーの分離方法。
IPC (5件):
B01D 29/25 ,  B01D 29/37 ,  B01D 35/22 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304
FI (3件):
B01D 37/06 ,  H01L 21/304 622 P ,  H01L 21/304 622 Z

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