特許

J-GLOBAL ID：200903072134786058

水晶振動子の製造方法

発明者： 中山 一誠
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047645
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218775
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【構成】 水晶2の上の全面にマスク膜1を形成し、露光処理を行い、このマスク膜1表面をシリル化した後、ドライ現像を行う工程と、さらに全面にエッチングマスク材料3を形成する工程と、その後にこのエッチングマスク材料3をマスク膜1が露出するまで除去し、さらにマスク膜1を除去し、エッチングマスク材料3からなるエッチングマスク4を形成する工程と、その後、このエッチングマスク4を用いて水晶2を加工する工程とを有する。【効果】 水晶をエッチングした後の水晶の断面が斜面ではなく、垂直な断面となるような水晶振動子の製造が可能となり、発振周波数のばらつきを小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

水晶の上の全面にマスク膜を形成し、露光処理を行い、このマスク膜表面をシリル化した後、ドライ現像を行う工程と、さらに全面にエッチングマスク材料を形成する工程と、その後このエッチングマスク材料を前記マスク膜が露出するまで除去し、さらに前記マスク膜を除去し、前記エッチングマスク材料からなるエッチングマスクを形成する工程と、その後、このエッチングマスクを用いて前記水晶を加工する工程とを有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。