特許
J-GLOBAL ID：200903072140972360
インナーリードボンディングヘッド装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198107
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045410
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 加圧ステージとボンディングヘッドの平行度を容易・迅速に調整できるようにする。【構成】 ボンディングヘッドBHと、このボンディングヘッドBHを保持するヘッドロッドHRと、このヘッドロッドHRを加圧ステージ16に対し、昇降可能かつ揺動可能に支持する球面ベアリングCBと、このベアリングCBの揺動を許否するロック手段RCを有する。
請求項（抜粋）：
加圧ステージと対面し、この加圧ステージ上でタブテープとチップとを圧着させるボンディングヘッドと、このボンディングヘッドを保持するヘッドロッドと、このヘッドロッドを前記加圧ステージに対して昇降可能かつ揺動可能に支持する球面ベアリングと、この球面ベアリングの揺動を許否するロック手段とを有することを特徴とするインナーリードボンディングヘッド装置。
引用特許：
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