特許

J-GLOBAL ID：200903072148156391

面発光レーザダイオードアレイ及びその駆動方法,光検出素子,光検出素子アレイ,空間光接続システム,並びに波長多重光通信システム

発明者： 板垣 卓士
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179314
公開番号（公開出願番号）：特開平7-038205
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 各面発光LDの動作を独立且つ安定に制御でき、位相合成波からなるレーザ光の出射方向を変更することができる面発光LDアレイを得る。【構成】 n-InP基板10上に、各々の2次回折格子16のピッチが同一ピッチとなるように形成された複数の面発光LD101a〜101l を、各々の2次回折格子16がn-InP基板10上の所定の一点に向かうように該一点を中心に放射状に形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の面発光レーザダイオードが、各々の2次回折格子が上記基板上の一点に向かうように該一点を中心に放射状に配設され、上記複数の面発光レーザダイオードの各々の2次回折格子が、同一ピッチを持つように形成されていることを特徴とする面発光レーザダイオードアレイ。

IPC (4件)：

H01S 3/18 ,  H01L 27/15 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 31/02 C ,  H01L 31/10 D