特許

J-GLOBAL ID：200903072149285764

偏向装置

発明者： ケネディ、ジェームズ ディ.
出願人/特許権者： キネティック プローブ エルエルシー
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-596382
公開番号（公開出願番号）：特表2002-535681
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2002年10月22日
要約：

【要約】伸長形状を有する偏向装置は、その端部の一方で基部支持構造に固定され、制御ネットワークからの第1電気信号に反応し、第1方向にその端部の他方を移動する。アームアセンブリは、第1信号に反応し、偏向を実行し、第1信号の振幅の突然の変動に反応して発振する特徴を有する少なくとも1個の圧電結晶を含むことができる。本偏向装置は、絶縁素材で被覆された複数個の接触点を有する電気回路を試験するためのプローブとして使用するために特に適応される。プローブ先端は、装置の第2端付近に配し、結晶の偏向が先端に絶縁素材を貫通する運動エネルギーを与え、接触点の1つと電気接触を提供できる。次に第2信号をプローブ先端に導入し、電気回路を試験できる。電導素材によって間隔をあけられた1対の圧電結晶は、第1信号を形成する制御ネットワークにキャパシタンスを提供でき、結晶の発振を禁止する。

請求項（抜粋）：

酸化物被覆電気接点の試験を可能にするための電気試験装置であって: 片持式にその端部の一方で伸び、酸化物被覆電気接点に向かう方向にかつ離れる方向に移動する伸長構造要素であって、第1及び第2表面と、自由端と、固定端とを有する伸長構造要素と; 該伸長構造要素の該自由端に搭載され、試験される電気接点の酸化物被覆を貫通する形状の穿孔部を有するプローブ先端と; 該伸長構造要素の該第1表面上に重ねられ、酸化物被覆電気接点に向かって偏向する圧電特性を有する第1圧電結晶と; 該伸長構造要素の該第2表面上に重ねられ、偏向用の圧電特性を有する第2圧電結晶と、を備え、少なくとも1個の電気信号に反応した少なくとも第1圧電結晶の偏向により、該伸長構造要素が酸化物被覆電気接点に向かって湾曲し、それにより、酸化物被覆を貫通するに充分な運動エネルギーで、該プローブを電気接点の酸化物被覆内に推進する電気試験装置。

IPC (4件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (21件)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AG20 ,  2G011AA15 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AF01 ,  2G132AL03 ,  4M106AD26 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD12