特許

J-GLOBAL ID：200903072151450578

電子顕微鏡

発明者： 高橋 忠範
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263194
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084935
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】周囲の温度変化やレンズコイル部の温度変化によって発生する熱膨張のよる視野の移動を低減する。【解決手段】周囲の温度変化やレンズコイル部の温度変化によって発生する熱膨張のよる視野移動の発生を低減する手段として、視野移動機構周辺およびレンズコイル部に温度検出手段を設け、冷却水温度または冷却水水量を制御する事により視野移動の低減を図る。

請求項（抜粋）：

電子源と、当該電子源から放出される電子線を収束する磁界形レンズを有する電子顕微鏡において、前記磁界形レンズを冷却する手段と、前記磁界形レンズの温度を検出する温度検出手段と、当該温度検出手段で検出される温度に応じて前記冷却手段の冷却効率を変化させる手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。