特許

J-GLOBAL ID：200903072168273017

基板搬送装置

発明者： 安田 守 ,  藤崎 暢夫
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (3件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  河野 哲
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2003004835
公開番号（公開出願番号）：WO2003-086917
出願日： 2003年04月16日
公開日（公表日）： 2003年10月23日
要約：

各基板載置台(1、16)及び浮上ブロック(11)に形成された複数の空気孔(4、18、12)からエアーを吹上げてガラス基板(3)を浮上させ、この浮上しているガラス基板(3)の搬送方向Cの先端部両端を吸着保持して引っ張りながら搬送する。

請求項（抜粋）：

搬送路上に沿って設けられ、基板を前記搬送路上に浮上させる基板浮上機構と、 前記基板浮上機構により浮上している前記基板の両端部を保持して前記搬送路に沿って搬送する搬送機構と、 を具備したことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

B65G49/06 ,  B65G25/06 ,  B65G51/03 ,  H01L21/68

FI (4件)：

B65G49/06 A ,  B65G25/06 ,  B65G51/03 C ,  H01L21/68 A