特許

J-GLOBAL ID：200903072173770932

両面研磨装置

発明者： 中村 由夫 ,  鍛治倉 惇 ,  神田 智樹
出願人/特許権者： 不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-055346
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254310
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 ワーク加工中に修正用部材を好適に作用させることにより、研磨面の状態を一定に保ち、ワークの研磨精度を向上させること。【解決手段】 薄平板に透孔が設けられて成るキャリヤ12と、キャリヤ12の透孔12a内に配された板状のウェーハ10を、上下から挟むと共にウェーハ10に対して相対的に移動して研磨する研磨面を有する上下の定盤14、16と、キャリヤ12を、キャリヤ12の面と平行な面内で運動をさせ、透孔12a内で上下の定盤14,16の間に保持されたウェーハ10を運動させる運動機構と、ウェーハ10と同等の厚さに形成され、キャリヤ12にウェーハ10と共に保持され、ウェーハ10の両面研磨工程と同時に上下の定盤14、16の両研磨面14a、16aを修正する修正用部材15とを具備する。

請求項（抜粋）：

薄平板に透孔が設けられて成るキャリヤと、該キャリヤの透孔内に配された板状のワークを、上下から挟むと共に該ワークに対して相対的に移動して研磨する研磨面を有する上下の定盤と、前記キャリヤを、該キャリヤの面と平行な面内で運動をさせ、前記透孔内で上下の定盤の間に保持された前記ワ-クを運動させる運動機構と、前記ワークと同等の厚さに形成され、前記キャリヤに前記ワークと共に保持され、ワークの両面研磨工程と同時に前記上下の定盤の両研磨面を修正する修正用部材とを具備することを特徴とする両面研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  B24B 53/02

FI (3件)：

B24B 37/04 F ,  B24B 37/00 A ,  B24B 53/02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭61-090868
  
• 特開昭53-043297
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-090868
  
• 特開昭53-043297