距離測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-108994
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221607
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】静電容量式センサを用いた距離測定装置において、測定範囲を拡大する。【解決手段】被検体表面12に対向して、ロッド16の先端に固定された対物電極14を配置する。ロッドは、支持構造18によりフレーム20に支持される。リニアモータ26は、ロッドをフレームに対してその軸方向に駆動し、対物電極と被検体表面の間隙が所定の値になるように制御する。この間隙の実際の値が間隙算出部36により得られる。また、ロッドとフレームに各々固定された移動電極30と固定電極32の相対位置の変化により、フレームに対するロッドの変位が、対物電極変位算出部34により算出される。これらの算出結果から、フレームに対する被検体表面の変位が測定できる。

請求項（抜粋）：

フレームと、被検体表面に対して間隙をもって配置される対物電極と、前記対物電極を、前記被検体表面との間隙が所定の範囲となるように前記フレームに対して支持する対物電極支持手段と、フレームに対する対物電極の変位を検出する対物電極変位検出手段と、対物電極と被検体表面の静電容量に基づきこれらの間隙を検出する間隙検出手段と、前記対物電極変位と前記間隙に基づき、前記フレーム上の所定の点から被検体表面までの距離を算出する距離算出手段と、を有する距離測定装置。

IPC (5件)：

G01B 7/00 , G01B 7/14 , G01B 7/28 , G01B 11/00 , G01D 5/24

FI (5件)：

G01B 7/00 K , G01B 7/14 Z , G01B 7/28 E , G01B 11/00 Z , G01D 5/24 C

Fターム (31件)：

2F063AA02 , 2F063AA22 , 2F063AA23 , 2F063BB02 , 2F063CA10 , 2F063CA13 , 2F063DA01 , 2F063DB01 , 2F063DB04 , 2F063DD03 , 2F063DD08 , 2F063EA02 , 2F063EA20 , 2F063EB01 , 2F063HA01 , 2F063HA04 , 2F063HA05 , 2F063HA12 , 2F063JA04 , 2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065DD03 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F077CC02 , 2F077HH02 , 2F077HH18 , 2F077MM15 , 2F077MM16 , 2F077VV02

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭50-098864

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