基板搬送装置、基板搬送方法、露光装置およびマイクロデバイス並びにレチクルライブラリ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999002538
公開番号（公開出願番号）：WO1999-060625
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 1999年11月25日
要約：

【要約】基板搬送装置22は、基板Rを収納する基板収納手段24と、基板収納手段24および基板Rを使用する装置16との間で基板Rを搬送する搬送手段25、26とを備える。基板収納手段24には、複数の方向に基板Rを受入・受け渡しするための開口部30、31が形成されている。これにより、別途基板Rの取り出しポジションを設ける必要がなくなり、基板搬送装置22の専有面積が小さくなるとともに、基板搬送時間が短くなる。

請求項（抜粋）：

基板を収納する基板収納手段と、該基板収納手段および基板を使用する装置との間で前記基板を搬送する搬送手段とを備えた基板搬送装置において、前記基板収納手段には、複数の方向に前記基板を受入・受け渡しするための開口部が形成されていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 1/14 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/68 A , G03F 1/14 M , G03F 7/20 521

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