特許
J-GLOBAL ID：200903072179795015
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-270878
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138610
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【構成】電子顕微鏡は、X線をよく通し、赤外線や可視光線をよく反射する物質と、これを支持する板と、これを出し入れするための動力部と、そのコントローラとによって構成する保護シャッタを装着している。【効果】試料加熱中のX線分析が可能になった。
請求項（抜粋）：
被検試料への電子線照射により前記被検試料から発生するX線を検出するX線検出器を備えた電子顕微鏡において、前記被検試料と前記X線検出器との間に前記被検試料より発生する光を遮蔽する装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/244
, H01J 37/252
