特許

J-GLOBAL ID：200903072186646424

反応炉

発明者： 田辺 光朗 ,  井ノ口 泰啓
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279478
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102872
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】Oリングの耐久性の向上を図ると共に反応室の気密性を容易に維持可能な反応炉を提供する。【解決手段】反応管1のフランジ部3がOリング4を介在させてガス導入部5に気密に設けられ、前記フランジ部が前記ガス導入部と反応管押えフランジ11により挾持され、該反応管押えフランジが弾性体17により前記ガス導入部の方向に付勢され、前記弾性体の反発力により前記反応管押えフランジは常時前記フランジ部と密着し、両者間の熱抵抗が減少し、加熱された前記筒体から前記フランジ部へ伝導した熱の大部分が前記反応管押えフランジへ伝導し、外部へ放熱すると共に前記Oリングへの伝達熱量が減少する。

請求項（抜粋）：

反応管のフランジ部がOリングを介在させてガス導入部に気密に設けられ、前記フランジ部が前記ガス導入部と反応管押えフランジにより挾持され、該反応管押えフランジが弾性体により前記ガス導入部の方向に付勢されたことを特徴とする反応炉。

IPC (2件)：

H01L 21/22 501 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/22 501 D ,  H01L 21/205