特許

J-GLOBAL ID：200903072186878414

ウエハー露光装置のアライメント方法

発明者： 小野寺 恭雄
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218973
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055126
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、ウエハー露光装置のアライメント方法に関し、下地の影響で、計測される回折光の波形の形状が悪くなっている部分の波形を分離して取り除くことにより、アライメント精度を向上させることができるウエハー露光装置のアライメント方法を提供することを目的する。【構成】 複数個のウエハーアライメントマーク信号を分割し、分割されたアライメントマーク信号の内、ビーム照射される下地の影響でアライメント精度を悪化させると思われるアライメントマーク信号を取り除いて加算することにより、ウエハーのアライメントを行なうように構成する。

請求項（抜粋）：

複数個のウエハーアライメントマーク信号を分割し、分割されたアライメントマーク信号の内、ビーム照射される下地の影響でアライメント精度を悪化させると思われるアライメントマーク信号を取り除いて加算することにより、ウエハーのアライメントを行なうことを特徴とするウエハー露光装置のアライメント方法。