特許
J-GLOBAL ID:200903072186953017

冷陰極電界電子放出素子及びその製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 孝久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-289638
公開番号(公開出願番号):特開2001-110301
出願日: 1999年10月12日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】高融点金属を用いず、且つ、単純な形状にて優れた電子放出効率と長寿命を達成し得る電子放出電極を備えた冷陰極電界電子放出素子を提供する。【解決手段】本発明の冷陰極電界電子放出素子は、(A)支持体10上に形成されたカソード電極13、(B)カソード電極13上を含む支持体10上に形成された絶縁層15、(C)絶縁層15上に形成されたゲート電極16、(D)ゲート電極16及び絶縁層15を貫通した開口部18、並びに、(E)開口部18の底部に位置するカソード電極13上に形成され、(Sr,Ba,Ca)CO3層から成る電子放出電極21を備えている。
請求項(抜粋):
(A)支持体上に形成されたカソード電極、(B)カソード電極上を含む支持体上に形成された絶縁層、(C)絶縁層上に形成されたゲート電極、(D)ゲート電極及び絶縁層を貫通した開口部、並びに、(E)開口部の底部に位置するカソード電極上に形成され、(Sr,Ba,Ca)CO3層から成る電子放出電極、を備えていることを特徴とする冷陰極電界電子放出素子。
IPC (4件):
H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/44 ,  H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 B ,  H01J 9/44 A ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F
Fターム (9件):
5C012AA09 ,  5C012VV01 ,  5C036EE03 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF08 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EH01

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