投影光学系

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105707
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292568
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【目的】コンパクト化を図った上で広い露光領域と大きな開口数とを確保しつつ両側テレセントリックとしながらも、諸収差、特にディストーションを極めて良好に補正する。【構成】本発明による投影光学系は、第1物体R側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1 と、負屈折力の第2レンズ群G2 と、正屈折力の第3レンズ群G3と、負屈折力の第4レンズ群G4 と、正屈折力の第5レンズ群G5 と、正屈折力の第6レンズ群G6 とを有し、第2レンズ群G2 は、負屈折力の前方レンズL2Fと、負屈折力の後方レンズL2Rとの間に配置される中間レンズ群G2Mを含み、中間レンズ群G2Mは、第1物体R側から順に、正屈折力の第1レンズLM1と、負屈折力の第2レンズLM2と、負屈折力の第3レンズLM3とを少なくとも有するように構成される。そして、本発明は、上述の構成に基づいて第1乃至第6レンズ群G1 〜G6 の好適な焦点距離範囲、並びに前方レンズL2Fと後方レンズL2Rの最適な形状の範囲を見出したものである。

請求項（抜粋）：

第1物体の像を第2物体上に投影する投影光学系において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、負の屈折力を持つ第2レンズ群と、正の屈折力を持つ第3レンズ群と、負の屈折力を持つ第4レンズ群と、正の屈折力を持つ第5レンズ群と、正の屈折力を持つ第6レンズ群とを有し、前記第2レンズ群は、最も前記第1物体側に配置されて前記第2物体側に凹面を向けた負屈折力の前方レンズと、最も前記第2物体側に配置されて前記第1物体側に凹面を向けた負屈折力の後方レンズと、前記前方レンズと前記後方レンズとの間に配置される中間レンズ群を含み、前記中間レンズ群は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズと、負の屈折力を持つ第2レンズと、負の屈折力を持つ第3レンズとを少なくとも有し、前記第1レンズ群の焦点距離をf<SB>1 </SB>、前記第2レンズ群の焦点距離をf<SB>2 </SB>、前記第3レンズ群の焦点距離をf<SB>3 </SB>、前記第4レンズ群の焦点距離をf<SB>4 </SB>、前記第5レンズ群の焦点距離をf<SB>5 </SB>、前記第6レンズ群の焦点距離をf<SB>6 </SB>、前記第1物体から前記第2物体までの距離をL、前記前方レンズの第1物体側の面の曲率半径をr<SB>2Ff </SB>、前記前方レンズの第2物体側の面の曲率半径をr<SB>2Fr </SB>前記後方レンズの第1物体側の面の曲率半径をr<SB>2Rf </SB>、前記後方レンズの第2物体側の面の曲率半径をr<SB>2Rr </SB>するとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。(1) f<SB>1 </SB>/L<0.8(2) -0.10<f<SB>2 </SB>/L(3) 0.01<f<SB>3 </SB>/L<1.0(4) f<SB>4 </SB>/L<-0.005(5) 0.01<f<SB>5 </SB>/L<0.9(6) 0.02<f<SB>6 </SB>/L<1.6(7) 1.00≦(r<SB>2Ff </SB>-r<SB>2Fr </SB>)/(r<SB>2Ff </SB>+r<SB>2Fr </SB>)<5.0(8) -10.0<(r<SB>2Rf </SB>-r<SB>2Rr </SB>)/(r<SB>2Rf </SB>+r<SB>2Rr </SB>)≦-1.00

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