特許

J-GLOBAL ID：200903072193796423

プラズマ生成装置

発明者： 李 雲龍 ,  佐藤 徳芳
出願人/特許権者： 国際電気株式会社 ,  佐藤 徳芳
代理人 (1件)： 油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196972
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040398
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 排気速度として所望の速度を確保しながら、プラズマの生成効率の向上と、プラズマの分布の均一性の改善とを図ることができるようにする。【解決手段】 プラズマ生成装置は、プラズマ生成領域Rが設定される真空容器21と、プラズマ生成領域Rで放電を発生させるための平板状の電極22、23と、高周波電場がプラズマ生成領域Rから漏れることがないようにこの高周波電場を遮蔽するための2枚の遮蔽板24,25とを有する。遮蔽板24,25は、下部電極23の周囲を囲むようにリング状に形成されている。上側の遮蔽板24は、電気的にフローティング状態に設定されている。下側の遮蔽板25は、接地状態に設定されている。遮蔽板24,25には、それぞれプラズマ生成領域Rに存在する雰囲気を排出するための複数の排出孔31,32が形成されている。これらは、全く重なることがないように形成されている。

請求項（抜粋）：

ガス分子が存在するプラズマ生成領域で放電を発生させ、この放電によって発生した走行電子が前記ガス分子に衝突してこのガス分子をイオン化したり、励起したりすることを利用してプラズマを生成するプラズマ生成装置において、内部に前記プラズマ生成領域が設定される真空容器と、この真空容器の内部に設定された前記プラズマ生成領域にプラズマ生成用のガスを導入するガス導入手段と、前記真空容器の内部に設定された前記プラズマ生成領域で放電を発生させる放電手段と、複数の遮蔽板によって放電電場が前記プラズマ生成領域から漏れることがないようにこの放電電場を遮蔽する遮蔽手段と、前記複数の遮蔽板のそれぞれに互いに全体的に重なることがないように形成された複数の排気孔を介して前記プラズマ生成領域に存在する雰囲気を排出する排気手段とを備えたことを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

H05H 1/46 M ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B