特許

J-GLOBAL ID：200903072195874294

セラミックグリーンシートの積層方法

発明者： 高崎 光弘 ,  岩村 亮二 ,  京井 正之 ,  岡市 正樹 ,  岡田 健一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319387
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171818
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】セラミックグリーンシートの熱圧着方法において、圧着体の密度分布をなくし、焼結収縮率ばらつきのない、高精度セラミック多層基板を提供すること。【構成】加圧板6、7の間に設置し、油圧シリンダ1により加圧中の積層体11に加振器4により振動を付加した。また、圧電センサー8により積層体11の振動減衰率を測定し、積層体11が所定の密度になるように加圧力を制御した。【効果】本発明によれば、圧着体の密度分布と密度の変動を抑制できるので、焼結収縮率ばらつきのない、セラミック多層基板を製造できる。このため、セラミック多層基板の歩留まりの向上による生産コスト低減を図ることができる。

請求項（抜粋）：

熱圧着法によりセラミックグリーンシートを多層化する工程において、セラミックグリーンシートに振動を付加しながら熱圧着することを特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。

IPC (5件)：

B28B 11/02 ,  B28B 3/02 ,  H01G 4/12 364 ,  H01G 4/30 311 ,  H05K 3/46