特許

J-GLOBAL ID：200903072197884327

基板センタリング装置

発明者： 脇田 裕治
出願人/特許権者： 株式会社椿本チエイン
代理人 (1件)： 津野 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-039652
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230304
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 基板センタリング装置において、カセット内に収納されている基板中央部近傍の撓みを修正して平らにすると共に、位置ずれしている基板を中央に寄せるセンタリングも行うこと。【解決手段】 基板センタリング装置1を、多段の支持アーム2A上に載せられた基板Pを収納したカセット2が載置される載置台3と、該載置台に載置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方から支える複数のサポート10と、カセットの外側から内側に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアーム11と、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇降フレーム5を昇降させる昇降装置とで構成する。

請求項（抜粋）：

多段の支持アーム上に載せられた基板を収納したカセットが載置される載置台と、該載置台に載置されたカセット内に進入して基板の中央部近傍を下方から支える複数のサポートと、カセットの外側から内側に水平移動して基板を中央側に寄せるセンタリングアームと、サポート及びセンタリングアームが設けられた昇降フレームを昇降させる昇降装置とからなることを特徴とする基板センタリング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA38 ,  5F031GA50 ,  5F031JA25 ,  5F031JA29 ,  5F031KA02 ,  5F031KA11 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031PA13