特許
J-GLOBAL ID：200903072198866810
デバイスの製造方法及び製造装置、デバイス及び電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-079524
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282245
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッドのノズルの目詰まり等の不具合の発生を防止し、安定したインク吐出動作を実現することによって所望の精度を有するデバイスを製造できるデバイスの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 デバイス製造装置IJは、基板Pのパターン形成領域に対してインクを吐出可能なインクジェットヘッド20と、パターン形成領域以外の部分に設けられたフラッシング領域52、59と、フラッシング領域52、59に対してインクを吐出するようにインクジェットヘッド20の吐出動作を制御する制御装置CONTとを備えている。
請求項（抜粋）：
基板のパターン形成領域に対して液滴吐出ヘッドより液体材料を吐出する工程を有するデバイスの製造方法において、前記パターン形成領域以外の所定領域に対して前記液体材料を吐出するフラッシング工程を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, B41J 2/01
, H05B 33/14
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, B41J 3/04 101 Z
2C056FA04
, 2C056FB01
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
