特許
J-GLOBAL ID：200903072207846720
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006674
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205021
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 研磨部材12を被研磨部材に対して平行な状態でかつ一定の圧力で圧接させることにより、被研磨部材の被研磨面14を均一に研磨することを可能とした研磨装置を提供する。【構成】 回転軸Lの先端に交換自在に取り付けられる研磨部材12を有する研磨部38と、前記回転軸Lを回転駆動させる駆動源を有する駆動部と、この駆動部によって回転駆動された研磨部材12を被研磨部材の被研磨面14に圧接させる研磨部材圧接機構とから構成され、この研磨部材圧接機構は、流体圧シリンダ6と、この流体圧シリンダ6によって駆動され研磨部材12を被研磨部材の被研磨面14へと圧接させる平行リンク機構とによって構成される。
請求項（抜粋）：
回転軸の先端に交換自在に取り付けられる研磨部材を有する研磨部と、前記回転軸を回転駆動させる駆動源を有する駆動部と、この駆動部によって回転駆動された研磨部材を被研磨部材の研磨面に圧接させる研磨部材圧接機構とから構成され、この研磨部材圧接機構は、流体圧シリンダと、この流体圧シリンダによって駆動され研磨部材を被研磨部材の研磨面へと圧接させる平行リンク機構とによって構成されたことを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 47/12
, B24B 29/00
, B24B 41/047
