特許
J-GLOBAL ID：200903072209138561
タ-ボ分子ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005781
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205185
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】ターボ分子ポンプへの電力供給量を低減し、電源供給系のコスト低減、装置全体の消費電力の低下を達成する。【解決手段】ターボ分子ポンプを駆動する電源装置内1に最大消費電力設定器9を設け、ポンプの負荷量に応じた最大消費電力設定信号を外部から受けてその最大消費電力設定値を保持すると同時に、この値を電力制御部8に伝達する。電力制御部8はあらかじめ設定された電動機12の駆動回転数に必要な周波数設定を行い、これをインバータ5に伝達して電動機12の回転数に必要な周波数の交流電力に変換して、この電力をターボ分子ポンプ本体11に供給して電動機12を駆動する。同時に電動機12からのフィードバック信号が回転速度制御部10に伝達され最大消費電力設定器9からの信号と比較し、電力制御部8に回転・電力制御用フィードバック信号を伝達し電動機12に供給する電力及び電動機12の回転数の制御を行う。これによりターボ分子ポンプ本来の機能を落とすことなくターボ分子ポンプを駆動するための最大電源供給量を低減できる。
請求項（抜粋）：
排気機能を有するターボ機構のロータを電動機にて回転駆動するターボ分子ポンプ本体と、この電動機に電力を供給する電源装置からなるターボ分子ポンプにおいて、電源装置にポンプの負荷量に応じた最大消費電力量を設定する設定手段を設け、ポンプの起動時と通常排気時の電源装置からポンプへの電力供給量を調整できるようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 27/00 C
, F04D 19/04 H
3H021AA02
, 3H021BA12
, 3H021CA04
, 3H021CA07
, 3H021CA10
, 3H021DA04
, 3H021DA06
, 3H021EA10
, 3H031DA02
, 3H031EA12
, 3H031EA13
, 3H031FA13
, 3H031FA41
