特許

J-GLOBAL ID：200903072211687734

複合酸化物薄膜、該薄膜の接合体とその製法、該接合 体を用いたセンサ

発明者： 神戸 由美 ,  日比野 真吾 ,  伊佐治 雅久 ,  高橋 直樹 ,  藤井 洋
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 北川 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148500
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337422
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【目的】撓み変形の可能な圧電材料、これを利用したセンサを提供する。【構成】ペロブスカイト結晶構造をとる複合酸化物からなり、3.0×104dyn・cm以下の曲げ剛性を示す複合酸化物薄膜。これと基体との接合体。この接合体を利用したセンサ。

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト結晶構造をとる無機酸化物が複合した複合酸化物からなる薄膜であって、3.0×104dyn・cm以下の曲げ剛性を示すことを特徴とする複合酸化物薄膜。

IPC (4件)：

G01L 1/16 ,  C01G 1/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

G01L 1/16 ,  C01G 1/00 B ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z